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| Rigaku XRTmicron 高輸出高解析大範圍X光拓譜儀 |
超高輝度微焦點 X 光光源
可進行穿透視及反射式 X 光拓樸量測
適用於大型 Si,SiC,GaN,GaAs,quartz,Saphire,LN,LT,rutile,fluorite等晶圓,晶柱,磊晶樣品分析
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| Rigaku XRT-100/200/300 |
適用4吋,8吋,12吋晶圓拓樸分析 (100/200/300)
可執行反射式或穿透式拓樸量測
針對特殊角度設計特殊彎曲狹縫取得良好數據
Si, Ge, GaAs, SiC, quartz, LN, LT, sapphire, rutile, fluorite, and various other single-crystalline materials
檢測晶格缺陷,疊層缺陷,差排,dot-shaped precipitates,Fringe contrasts
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| Rigaku SmartLab系列 多功能高功率人性化界面X光繞射儀 |
2006 R&D 100 award
2014年諾貝爾物理獎得主使用機台
人性化軟體界面:
光學附件系統自動鑑別,
實驗條件步驟引導,
薄膜結構測量指引,
無須專業背景即能操作
θ/θ 垂直式測角儀
可選配9kW高功率旋靶式X光管或3kW固定靶材X光管
CBO多功能自動選擇光學系統
高精度薄膜測定功能:
X光反射率, Rocking-Curve, in plane XRD, 倒置格點量測, GIXRD, GISAXS, XRT
獨家偵測器球面五軸運動In-Plane光學系統無需重新校正光路
多用途: 粉末, 薄膜, 固態材料, 小角散射量測, 極圖量測, 微區繞射, etc
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